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By Dr. Michael Kohler(auth.)

Content:
Chapter 1 Einfuhrung (pages 1–3):
Chapter 2 Besonderheiten mikrotechnischer Atzprozesse (pages 5–32):
Chapter three Na?atzverfahren: Abschnitte 3.1 ? 3.4 (pages 33–96):
Chapter three Na?atzverfahren: Abschnitte 3.5 ? 3.6 (pages 96–126):
Chapter four Trockenatzverfahren (pages 127–197):
Chapter five Mikroformgebung durch Atzen von lokal verandertem fabric (pages 199–205):
Chapter 6 Ausgewahlte Vorschriften (pages 207–369):

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Dafür lassen sich unerwünschte Kontaminationen oft vollständig entfernen. Mit stark oxidierenden Bädern werden Kontaminationsfilme chemisch bis zu den kleinen anorganischen Molekülen Wasser, CO und CO2 abgebaut. Stark schwefelsaure Chromatlösungen (Chromschwefelsäure) ist als fettabbauendes Oxidationsmittel sehr wirksam und wurde daher in der Vergangenheit häufig verwendet. Chromate sind aber arbeits- und umweltschutztechnisch bedenklich und werden deshalb heute nur noch selten zur Reinigung eingesetzt.

Die höhere Selektivität hat ihre Ursache darin, daß die spezifischen Wechselwirkungen zwischen den Bestandteilen der Flüssigkeit und dem Festkörper die Auflösungsrate bestimmen bzw. festlegen, ob ein Material überhaupt von einem Ätzmedium angriffen wird. Naßchemisches Ätzen unter Verwendung photolithographischer Masken wird nicht nur in der Dünnschichttechnik eingesetzt. h. von einigen 10 ^im bis zu l mm reicht. Die Ätztechniken für eine ganze Reihe von Materialien, die mikrotechnisch bedeutsam sind, wurden im Rahmen der sogenannten PCM-Technik („Photochemical Machining" oder „Photochemical Milling") entwickelt^.

2-3. Erzeugung senkrechter Flanken beim anisotropen Ätzen durch das Fenster einer Maske (Querschnitt) Y = 0 (wenn ru > r) t=t2 (n) Nach Gleichung (5) läßt sich für partiell anisotrope Ätzprozesse (0 < y < 1) die absolute Unterätzung lu anhand der Schichtdicke h bzw. der Atztiefe hätz einer zu ätzenden Schicht abschätzen: 1„ = (l - Y) (12) Im weiteren Sinne sind alle Ätzverfahren anisotrop, bei denen Raten irgendeine Richtungsbevorzugung haben. Die Richtungsbevorzugung beim Atzen kann ihre Ursache entweder in der Richtung des Angriffs des Ätzmediums oder aber in den strukturellen Eigenschaften des zu ätzenden Materials haben.

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